SEM(주사전자현미경) 미세 구조 분석 실험
『목차』
1. 실험목적
2. 실험장비
3. SEM의 원리, 장점, 구조, 용도
4. 미세구조 분석 실험 과정
※ 폴리싱 하는 이유
※ SEM 사용 시에 시편에 에칭을 하는 이유
5. 실험결과
6. SEM과 광학현미경 비교
7. 논의 및 고찰
1. 실험목적
- 배율 X 100,000 이하의 고배율을 얻을 수 있는 주사전자현미경의 작동원리를 이해하고 본 실험에서는 주사전자현미경을 이용하여 세라믹 재료의 파단면 형상, 기공의 존재, 분말의 입자크기 , 그리고 표면형상 및 평균 결정립 크기를 조사하기 위한 시료의 준비방법을 실습하고 주사전자현미경 관찰 및 사진 분석을 통하여 세락믹스의 미세구조에 대한 일반적인 이해를 얻는다.
2. 실험 장비
- 다이아몬드 서스펜스, 물, 시편, 폴리셔(연마기), 폴리크로스, 주사전자현미경(SEM),
코팅기.
3. SEM의 원리, 장점, 구조, 용도
SEM 원리
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